光刻机的专利范围及国别　　光刻机是制造集成电路和其他微电子器件的重要设备。在全球范围内，许多国家都在该领域内申请和发放着光刻机的专利。 　　在美国，使用光刻机进行制造的专利大多由ASML以及Nikon