光刻机是否有专利保护？　　光刻机是半导体制造工业中必不可少的设备，用于将芯片设计图案转移到硅片和其他半导体材料上。它采用高能紫外光源和光掩膜来制造微米级的芯片结构。然而，许多人对于光刻机是否有专利保护