光刻机有专利吗？　　在现代半导体产业中，光刻机是一种至关重要的工具。光刻机能够使用光线将微型电路图案投射到硅片上，从而实现芯片的制造。然而，对于普通的消费者来说，光刻机还是一个十分陌生的概念。那么，光