光刻机专利保护期限及其对产业发展的影响　　光刻机是半导体制造过程中必不可少的设备之一，其用于芯片制造中的图案转移过程，因此被视为半导体工业的核心技术之一。然而，由于光刻机的独特性质和技术复杂性，其专利