光刻机是否享有专利保护? 光刻机是一种高精度加工设备,广泛应用于半导体、光电子、微电子等领域。随着科技水平的不断提升,光刻技术也越来越成熟,而光刻机是否享有专利保护是一个备受关注的问题。
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