光刻机专利保护期限及影响　　光刻机是半导体芯片制造中至关重要的设备之一，其压印技术的精度和复杂度决定着芯片的制造质量和性能。在光刻机的应用和发展过程中，专利保护起到了重要的推动作用，既保障了发明人和企