中国拥有的光刻机专利领先世界　　近年来，随着信息技术的飞速发展，微电子制造行业也得到了迅猛的发展。在这个过程中，光刻机技术是不可或缺的关键技术之一。中国在光刻机领域拥有大量的专利，这为国内企业开展微电