光刻机有专利吗？　　光刻机是制造半导体芯片的重要工具，其工作原理是使用透镜将光线聚焦到芯片表面，以达到将芯片上的电路图案投影到硅片上的目的。多年来，光刻机技术一直在不断发展，以适应芯片制造业对精度、速