光刻机技术快速发展，相关专利保护势在必行　　随着集成电路制造技术的不断推进，光刻机在芯片制造过程中发挥着至关重要的作用。光刻机技术的地址采用了高密度的光刻图形，能够以极高的精度将光刻胶转化为芯片上的微