发展历程与现状——光刻机中国专利 　　光刻机是一种用于半导体芯片制造的设备，可以将芯片上的图案通过光学图案转移到硅片上，从而进行制程加工。随着半导体行业的快速发展，光刻机成为了该行业中不可或缺的设备之