中国光刻机产业在近年来发展迅速，成为了全球领先的光刻机生产及应用的国家之一。其中，光刻机专利的保护和提升对于中国光刻机产业的成长有着至关重要的作用。近年来，中国光刻机企业在国内外专利申请方面取得显著成